氧氣分析儀在半導體/液晶/電子元器件等領域的相關應用

發(fā)布時間：2020-10-16　點擊量：1013

日本東麗TORAY氧氣分析儀MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

氧氣表MS-500

測量原理			氧化鋯輕型電池
形狀			分體式（轉換器：壁掛式，傳感器：直接插入式）
顯示方式			4位數字顯示（密度顯示）
測量范圍			0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積％氧氣2　10 -20?10 -0大氣壓自動范圍
重復性			在±0.5％FS 0-1％范圍內或以上 ±1％FS以下或≤± 0.1ppm大于0-1ppm的0-1％內，atm范圍超出保證的濃度范圍
測量點數			1-8
樣氣條件	壓力		10 -3至200 KPa（壓力）
	流量		0.5-5,000 mL / min或0 mL / min（自然擴散狀態(tài)的測量）
	濕度		露點低于環(huán)境溫度
	溫度		0-100℃
	其他		不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。
比較氣			大氣層
記錄儀輸出			僅變速箱輸出
變速箱輸出			RS-232C
報警輸出			沒有
熱身時間			6分鐘以內
尺寸	MS-500（控制器）		92（W）x 44（H）x 120（D）（不包括突起）
	MS-510（轉換器）		100（W）x 40（H）x 88（D）（不包括突起）
	傳感器單元	SD16NW	總長100 mm（感應部分Φ11×39，主體部分Φ40×51）
		SD25NW	總長100mm（感應部分Φ11×42，主體部分Φ40×48）
		SD40NW	總長100 mm（感應部分Φ11×41，主體部分Φ40×49）
大眾	MS-500（控制器）		約0.6Kg
	MS-510（轉換器）		約0.5kg
	傳感器單元	SD16NW	約0.2Kg
		SD25NW	約0.2Kg
		SD40NW	約0.35Kg
外部連接			真空法蘭之一（NW16、25、40）
使用電源			24VDC±10％

LC-450A，LC-450D

LC-860