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氧氣分析儀在半導體/液晶/電子元器件等領域的相關應用

發(fā)布時間:2020-10-16 點擊量:1013

日本東麗TORAY氧氣分析儀MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

氧氣表MS-500

  • 多可以同時測量8個點
  • 濃度范圍從ppm到100%均可顯示。
  • 非常適合安裝在半導體制造設備,真空設備等上。
  • 傳感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
  • 特殊涂層應用于高度耐用的傳感器,以進一步提高耐用性。

MS-500設備規(guī)格

測量原理

氧化鋯輕型電池

形狀

分體式(轉換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)

顯示方式

4位數字顯示(密度顯示)

測量范圍

0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
自動范圍

重復性

在±0.5%FS 0-1%范圍內或以上
±1%FS以下或≤±
0.1ppm大于0-1ppm的0-1%內,atm范圍超出保證的濃度范圍

測量點數

1-8

樣氣條件

壓力

10 -3至200 KPa(壓力)

流量

0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然擴散狀態(tài)的測量)

濕度

露點低于環(huán)境溫度

溫度

0-100℃

其他

不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。

比較氣

大氣層

記錄儀輸出

僅變速箱輸出

變速箱輸出

RS-232C

報警輸出

沒有

熱身時間

6分鐘以內

尺寸

MS-500(控制器)

92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)

MS-510(轉換器)

100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)

傳感器單元

SD16NW

總長100 mm(感應部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)

SD25NW

總長100mm(感應部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)

SD40NW

總長100 mm(感應部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)

大眾

MS-500(控制器)

約0.6Kg

MS-510(轉換器)

約0.5kg

傳感器單元

SD16NW

約0.2Kg

SD25NW

約0.2Kg

SD40NW

約0.35Kg

外部連接

真空法蘭之一(NW16、25、40)

使用電源

24VDC±10%

 

氧氣計LC-450A,LC-450D

LC-450A,LC-450D


  • 可以顯示很寬的濃度范圍,從測量到的濃度范圍內的ppm水平到100%。
  • 改進的傳感器耐用性
    氧氣傳感器經過特殊處理,以提高其耐用性。
  • 交流寬電源AC100-240VAC(LC-450A)
    * LC-450D由24V DC驅動
  • 緊湊且易于安裝
    深度比我們的傳統(tǒng)型號還要短,并且不會占用太多空間。
  • 符合RoHS的產品
  • CE標志自我聲明產品
    EN61010-1:2002,EN61326:+ A3:2003

氧氣計LC-860

LC-860

  • 低濃度測量
    可以測量ppb到100%
  • 操作簡便
    按功能可輕松操作
  • 吹掃功能
    比較氣體更穩(wěn)定,測量更精que(僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格)
  • 高可靠性傳感器傳感器
    內部還可以進行防劣化處理(可選)

 

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